北京中科科仪光学实验室净化工程百级 / 千级精密实验区(电镜调试 / 光学检测),洁净度:ISO5(百级),≥0.5μm 微粒≤3520 个 /m³,温湿度:22℃±1℃,湿度 40%–50% RH,高精度恒温恒湿,压差:洁净区对非洁净区≥+10Pa,相邻洁净区≥+5Pa,防微振:VC‑G 级(满足电镜 0.1μm 级成像),混凝土减震台 + 主动减震器预留,电磁屏蔽:低频磁屏蔽墙体 + 彩钢板,抑制交流磁场干扰,噪音:≤50dB(A);装修面积4714㎡;整个洁净系统均有北京奥云峰机电工程有限公司施工
